Pat
J-GLOBAL ID：200903060445708680

弾性表面波素子電極

Inventor：
太田 康博

About 太田 康博

, 
湯原 章綱

About 湯原 章綱


Applicant, Patent owner：
株式会社日立製作所

About 株式会社日立製作所


Agent (1)： 並木 昭夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992160514
Publication number (International publication number)：1994006173
Application date： Jun. 19, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：
【要約】【目的】 耐電力性が高く、しかも内部損失が少ない、即ち特性良好で長寿命な弾性表面波素子電極を提供する。【構成】 電極膜の微細構造において、電極膜のX線回折分析における(電極膜の主材料の第1ピ-ク強度)/(電極膜の主材料の第2ピ-ク強度)の値を100以下にし、または、電極膜の平均結晶粒径を電極幅Wの1/50〜1/5にし、電極膜材料組成としてAlxMy(ただし、MはTi,Pd,Cu,Nb,Ni,等の中の少なくとも1つであり、x,yはwt%表示で0≦y≦20,x+y=100)にすることにより、耐電力性を向上させ内部損失を軽減させる。
Claim (excerpt)：
圧電性基板上に金属薄膜よりなる膜状の電極を形成して成る弾性表面波素子の該電極において、膜状の該電極に対してX線回折分析を行った際、該電極を構成する主材料について得られる第1ピーク強度と第2ピーク強度の比、即ち(第1ピーク強度/第2ピーク強度)の値が、100以下であることを特徴とする弾性表面波素子電極。
IPC (2)：
H03H 9/25 ,  H03H 9/64
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (36)
  • 特開平3-014305
  • 特開平3-048511
  • 特開平4-003510
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM