加速度センサ及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：村井隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996323414
Publication number (International publication number)：1998148643
Application date： Nov. 19, 1996
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】電極対向面積を広く、電極間距離は小さく形成可能で検出感度の向上を図ることのできる加速度センサを得る。【解決手段】主面20aが凹凸を有する固定部20と、固定部20の主面に対向する面が前記凹凸を転写した表面形状を有する可動部25とを具備し、固定部20及び可動部25の相互に対向する表面の一方に第1電極としての下部電極21が、他方に第2電極としての上部電極26が形成されており、前記下部電極21と対向する前記上部電極表面が当該下部電極表面の凹凸を転写した表面形状を有している。

Claim (excerpt)：

第1電極と第2電極間の静電容量変化を利用した加速度センサにおいて、前記第1電極表面が凹凸を有し、前記第1電極と対向する前記第2電極表面が当該第1電極表面の凹凸を転写した表面形状を有することを特徴とする加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/125 , H01L 29/84

FI (2)：

G01P 15/125 , H01L 29/84 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

半導体加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-097708 Applicant：日本電装株式会社
半導体容量式加速度センサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-045793 Applicant：株式会社村田製作所
力学量センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-321511 Applicant：株式会社村田製作所

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