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J-GLOBAL ID：200903060463360187

半導体装置及びその製造方法

Inventor： エム・ビー・アナンド ,  山田 雅基 ,  柴田 英毅
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996099529
Publication number (International publication number)：1997237831
Application date： Mar. 29, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】 配線間の容量を低減し、LSIの性能の向上を図る。【解決手段】 絶縁層25上には、MOSトランジスタのソ-ス・ドレイン領域24a,24bに接続される配線W1が形成される。配線W1は、銅などの金属28a,28bと、金属28a,28bの表面を覆うバリア層27a,27bとから構成される。配線W1上には、絶縁層29,30,32が形成される。配線W1間は、空洞31になっている。空洞31内には、酸素及び二酸化炭素の混合ガス、又は空気が満たされている。絶縁層32上には、配線W2が形成される。配線W2間も、配線W1間と同様に、空洞38になっている。空洞38内には、酸素及び二酸化炭素の混合ガス、又は空気が満たされている。

Claim (excerpt)：

半導体基板と、前記半導体基板上に形成される第1の絶縁層と、前記第1の絶縁層上に形成される複数の第1の配線と、前記複数の第1の配線の間が完全に空洞になるように前記複数の第1の配線上に形成される第2の絶縁層と、前記第2の絶縁層上に形成される複数の第2の配線と、前記第2の絶縁層に形成されたビアホ-ルに埋め込まれ、前記複数の第1の配線と前記複数の第2の配線を接続する第2の導電層と、前記複数の第2の配線の間が完全に空洞になるように前記複数の第2の配線上に形成される第3の絶縁層とを具備することを特徴とする半導体装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-218150
  
• 特開平2-218150
  
• 半導体装置及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-184282   Applicant：日本電気株式会社