走査機構およびこれを用いた機械走査型顕微鏡

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001034391
Publication number (International publication number)：2001330425
Application date： Feb. 09, 2001
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】振動の発生が少なく高速走査を安定に行える走査機構を提供する。【解決手段】走査機構200は、走査機構保持台201と、これに固定されたアクチュエータ台座202、203と、これらに取り付けられたアクチュエータ204、205、206とを有している。アクチュエータ204は、アクチュエータ保持部207を介してアクチュエータ台座202に実質的に保持されている。同様に、アクチュエータ205は、アクチュエータ保持部208を介してアクチュエータ台座203に実質的に保持されている。アクチュエータ206は、アクチュエータ保持部209と210を介してアクチュエータ台座202と203に実質的に保持されている。アクチュエータ保持部207、208は、それぞれ、アクチュエータ204、205の中央付近を保持している。アクチュエータ保持部209と210は、アクチュエータ206の中央付近を保持している。

Claim (excerpt)：

走査のために移動対象物を移動させるための駆動部と、これをその中央付近で保持する保持部とを有している走査機構。

IPC (2)：

G01B 21/00 , G02B 21/26

FI (2)：

G01B 21/00 L , G02B 21/26

F-Term (15)：

2F069AA57 , 2F069AA60 , 2F069GG07 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069JJ15 , 2F069MM24 , 2F069MM26 , 2F069MM34 , 2H052AA07 , 2H052AC15 , 2H052AC27 , 2H052AD18 , 2H052AD20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-161808
圧電型駆動装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-051246 Applicant：株式会社ニコン
特開平3-035104

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