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J-GLOBAL ID：200903060484721139

ドライエッチング排ガスの処理方法

Inventor： 柏田 邦夫 ,  跡辺 仁志 ,  金子 虎一 ,  矢野 慎一
Applicant, Patent owner： 昭和電工株式会社
Agent (1)： 秋元 輝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993098461
Publication number (International publication number)：1994285332
Application date： Mar. 31, 1993
Publication date： Oct. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】 フッ素系、塩素系、臭素系ガスを用いるドライエッチング排ガス中の毒性ガスあるいは安全上問題となる酸性および酸化性ガスを一段の洗浄によって除去することができるドライエッチング排ガスの処理方法を開発する。【構成】 ハロゲン系ガスを用いるドライエッチンク排ガスの処理方法において、ドライエッチング排ガスを亜硫酸テトラメチルアンモニウム水溶液にテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドおよび/または(重)炭酸テトラメチルアンモニウムを加えた混合水溶液で洗浄することを特徴とするドライエッチング排ガスの処理方法により目的を達成できる。

Claim (excerpt)：

ハロゲン系ガスを用いるドライエッチンク排ガスの処理方法において、ドライエッチング排ガスを亜硫酸テトラメチルアンモニウム水溶液にテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドおよび/または(重)炭酸テトラメチルアンモニウムを加えた混合水溶液で洗浄することを特徴とするドライエッチング排ガスの処理方法。

IPC (3)：

B01D 53/34 134 ,  B01D 53/34 ZAB ,  C23F 4/00 ZAB