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J-GLOBAL ID：200903060485338002
アクティブ除振装置およびその制御方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993237701
Publication number (International publication number)：1995093036
Application date： Sep. 24, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：
【要約】【目的】 制御パラメータの設計および調整を容易にし、制御性能の向上を容易にする。【構成】 除振台1の重心位置Gを対角線の交点とする水平面内の長方形または正方形の四隅の位置に配置され、同一方向については等しいバネ定数および粘性減衰係数を有する、水平x方向に2a,2b,2c,2dおよびy方向に3a,3b,3c,3dの各支持手段により、除振台1を支持した構成とする。そして、このような除振台1の振動を振動センサ6a,6b,6cで検出し、運動モード抽出演算装置7、運動モードごとに独立に制御演算を行う非干渉制御演算装置8a,8b,8c、および推力分配装置9を介して各アクチュエータ4a,4b,4c,4dおよび5a,5b,5c,5dにフィードバックすることにより除振台1の各運動モードごとに独立に制御ループを構成する。
Claim (excerpt)：
平板状の除振台と、前記除振台の重心位置を対角線の交点とする水平面内の長方形または正方形の四隅の位置に配置され、前記長方形または正方形の直交する2辺に平行な2方向のうち、同一方向については等しいバネ定数および粘性減衰係数を有する支持手段と、前記水平面内の長方形または正方形の直交する2辺に平行な2方向に沿って配置された複数のアクチュエータと、前記除振台の振動を検出する複数の振動センサと、前記各振動センサの出力から前記除振台の並進および回転の各運動モードの情報を抽出する運動モード抽出演算装置と、前記運動モード抽出演算装置の出力にもとづいて各運動モードごとに独立に制御演算を行なう非干渉制御演算装置と、前記非干渉制御演算装置の出力から各アクチュエータに推力を分配する推力分配演算装置と、を備えたことを特徴とする、アクティブ除振装置。
IPC (2)：
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