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J-GLOBAL ID:200903060501061059
マイクロマシン素子を制御するための方法および装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
石田 敬 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001115921
Publication number (International publication number):2002036197
Application date: Apr. 13, 2001
Publication date: Feb. 05, 2002
Summary:
【要約】【課題】 低い電圧レベルの使用が可能となるマイクロマシン素子を制御するための方法と装置を実際的なやり方で実現する。【解決手段】 少なくとも1つのマイクロマシン素子を制御する方法では、第1の制御信号と第2の制御信号とがマイクロマシン素子に供給され、第2の制御信号が、マイクロマシン素子をアクティブ状態に設定し、第1の制御信号がこの状態を維持するように構成される。少なくとも1つのマイクロマシン素子(402)を制御するための装置は、少なくとも第1の制御信号と第2の制御信号とを生成する手段と、少なくとも第2の制御信号の電圧レベルを上げるための手段と、第1の制御信号と、昇圧された電圧レベルを持つ第2の制御信号とをマイクロマシン素子に供給する手段とを少なくとも含む。
Claim (excerpt):
少なくとも1つのマイクロマシン素子を制御する方法において、前記マイクロマシン素子が、少なくとも第2の制御信号を用いてアクティブ状態に設定され、前記マイクロマシン素子が少なくとも第1の制御信号を用いて前記アクティブ状態に維持されることを特徴とするマイクロマシン素子を制御するための方法。
IPC (4):
B81B 3/00
, H01H 47/00
, H01H 47/32
, H01H 59/00
FI (4):
B81B 3/00
, H01H 47/00 A
, H01H 47/32 D
, H01H 59/00
F-Term (4):
5G057AA19
, 5G057KK01
, 5G057RR10
, 5G057RS10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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空間光変調器
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平7-503446
Applicant:マサチューセッツインスティチュートオブテクノロジー
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特開昭57-126164
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特開平4-058429
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