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J-GLOBAL ID：200903060526820418

走査透過電子顕微鏡、及び収差測定方法、ならびに収差補正方法

Inventor：
中村 泰介

About 中村 泰介

, 
中村 邦康

About 中村 邦康


Applicant, Patent owner：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

About 株式会社日立ハイテクノロジーズ


Agent (1)： 井上 学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004367002
Publication number (International publication number)：2006173027
Application date： Dec. 20, 2004
Publication date： Jun. 29, 2006
Summary：
【課題】ロンチグラムから収差係数を決定し各収差を補正する信号を装置にフィードバックすることにより、指定した分解能を有する走査透過像を得ることができることを特徴とした走査透過電子顕微鏡を提供する。【解決手段】電子線源1、収束レンズ3、スキャンコイル7、暗視野像検出器13、A/Dコンバータ18、CPU21などから構成される走査透過電子顕微鏡装置において、対物前磁場レンズ8前段に収差補正器5を搭載し、カメラ15により取得したロンチグラムと任意の構造に対する計算像とのフィッティングにより決定される収差係数から各レンズ、収差補正器の駆動電流をCPU21により算出、フィードバックする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
電子線源より発生した電子線を一段以上の静電レンズによって所定の電圧まで加速し、一段以上の収束レンズと対物レンズによって電子線を収束させ試料に照射し、一段以上の偏向コイルによって電子線を試料面上で二次元的に走査し、一段以上の投影レンズを備え、試料を透過した電子線、試料表面から発生した二次電子線、あるいは試料表面で反射した反射電子線の強度を電子線の強度と同期して検出し、画像表示装置によって二次元走査電子顕微鏡画像として表示、取得する機能を有し、収束レンズや対物レンズによって発生する球面収差などの幾何収差と、電子源のエネルギーのばらつきで発生する色収差を補正するために静電、あるいは磁界型多重多極子レンズ、回転対称レンズ、偏向コイルから構成される収差補正器を対物レンズ前段に配置しており、ロンチグラムを取得することのできる検出器を備えた電子顕微鏡において、極座標変換したロンチグラムを用いて収差係数を計測し、求めた収差係数からこれらの収差を補正するように収差補正器の各レンズや偏向器の設定を算出し装置にフィードバックする機能を有することを特徴とした走査透過電子顕微鏡。
IPC (2)：
H01J 37/28 ,  H01J 37/153
FI (2)：
H01J37/28 C ,  H01J37/153 A
F-Term (10)：
5C033HH01 ,  5C033HH02 ,  5C033HH05 ,  5C033JJ01 ,  5C033JJ02 ,  5C033SS01 ,  5C033SS03 ,  5C033SS04 ,  5C033SS06 ,  5C033SS07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 米国特許第6552340号
Cited by examiner (8)
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