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J-GLOBAL ID：200903060567007357

X線反射鏡製作方法

Inventor： 長谷川 正樹 ,  二宮 健 ,  平 秀樹 ,  原田 達男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992195064
Publication number (International publication number)：1994034798
Application date： Jul. 22, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】反射面の面粗さが少ない、かつ高い形状精度,反射率を有するX線反射鏡を製作する方法を提供する。【構成】加熱圧着法などにより製作された、金型の形状を転写したレプリカ1と金型2との間に、樹脂3を流し込む。樹脂3の硬化後、金型2を外すことにより反射鏡レプリカを製作する。【効果】反射面の面粗さが少ない、かつ高い形状精度,反射率を有するX線反射鏡を容易に製作することができる。

Claim (excerpt)：

第1の金型からレプリカを製作し、前記レプリカ上に第2の金型を用いて新たにX線反射面を形成することを特徴とするX線反射鏡製作方法。

IPC (2)：

G21K 1/06 ,  G21K 7/00