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J-GLOBAL ID：200903060585089549

基板の吸着保持装置

Inventor： 柴田 浩匡
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993183897
Publication number (International publication number)：1995045692
Application date： Jul. 26, 1993
Publication date： Feb. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】薄板状でソリを有する基板を、載置台の載置面にならわして確実に吸着保持する。【構成】ウエハを吸着保持するウエハホルダ1上に、小断面積の吸着穴14と、大断面積の吸着溝3a,3b,4a,4b,4c,4dを有し、制御装置20で小断面積の吸着穴14でウエハを吸引し、その後大断面積の吸着溝3a,3b,4a,4b,4c,4dでウエハを吸着保持するように電磁弁9,19を制御する。

Claim (excerpt)：

薄板状の基板が載置される載置面を有する載置台と、基板を保持するための吸着手段とを持つ基板の吸着保持装置において、前記載置台に、小断面積の吸着穴を有する第1の吸着手段と、大断面積の吸着穴を有する第2の吸着手段と、載置される基板を前記載置台の載置面にならわせるために前記第1の吸着手段で吸引し、その後前記第2の吸着手段で吸着保持するように前記第1の吸着手段と前記第2の吸着手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする基板の吸着保持装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/08 ,  G03B 27/32 ,  H01L 21/027