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J-GLOBAL ID：200903060589718818
顕微鏡装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
奈良 繁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994192973
Publication number (International publication number)：1996062503
Application date： Aug. 17, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：
【要約】【目的】 幅広い長さの一様な線状照明を行い、さらに円筒状試料の表面を検査できるようにする。【構成】 試料を照明し、その正反射光をリニアイメージセンサ16で撮像し、検査領域を決定する検査領域決定装置Aと、この決定した検査領域を顕微鏡22を介してテレビカメラ23で撮像し検査する検査装置Bと、試料の撮像位置を検査領域決定装置Aと検査装置Bに対して調整する試料位置調整装置Cとを備え、検査領域決定装置Aは線状に並んだ光ファイバのバンドルと、このバンドルの先に設けられた集光レンズよりなるライン状照明源15を有し、リニアイメージセンサ16はこのライン状照明源15と平行に配置されている。
Claim (excerpt)：
試料を照明し、その正反射光をリニアイメージセンサで撮像し、検査領域を定める検査領域決定装置と、この検査領域決定装置の定めた検査領域を顕微鏡を介して撮像装置で撮像して検査する検査装置と、前記試料の撮像位置を、前記検査領域決定装置および前記検査装置に対して調整する試料位置調整装置とを備え、前記検査領域決定装置は、線状に並んだ光ファイバのバンドルとこのバンドルの先に設けられた集光レンズよりなるライン状照明源を有し、前記リニアイメージセンサは前記ライン状照明源と平行に配置されていることを特徴とする顕微鏡装置。
IPC (4)：
G02B 21/00
, G01N 21/01
, G01N 21/17
, G01N 21/84
Cited by examiner (9)
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