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J-GLOBAL ID：200903060592121440

フォトマスク識別装置およびフォトマスク識別方法

Inventor： 濱 満男
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 佐藤 隆久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998268777
Publication number (International publication number)：2000099619
Application date： Sep. 22, 1998
Publication date： Apr. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】反射率の異なる遮光材料を用いたレチクルに対し、バーコードの読み取りを行うことが可能であるフォトマスク識別装置およびフォトマスク識別方法を提供する。【解決手段】フォトマスクのパターン描画領域の周辺部に形成されたバーコードを認識し、フォトマスクを識別するフォトマスク識別装置において、前記バーコードを二次元の明視野像として認識する光検出装置と、前記光検出装置で得られる検出信号に画像処理を行い、一次元のバーコード波形に変換する画像処理装置とを有するフォトマスク識別装置およびこれを用いたフォトマスク識別方法。

Claim (excerpt)：

フォトマスクのパターン描画領域の周辺部に形成されたバーコードを認識し、フォトマスクを識別するフォトマスク識別装置において、前記バーコードを二次元の明視野像として認識する光検出装置と、前記光検出装置で得られる検出信号に画像処理を行い、一次元のバーコード波形に変換する画像処理装置とを有するフォトマスク識別装置。

IPC (4)：

G06K 7/10 ,  G03F 1/08 ,  G06K 7/00 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G06K 7/10 R ,  G06K 7/10 W ,  G03F 1/08 R ,  G06K 7/00 U ,  G06K 7/00 F ,  H01L 21/30 502 P