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J-GLOBAL ID：200903060641815142

放電プラズマによるガス処理方法

Inventor： 水野 彰 ,  柴山 益男
Applicant, Patent owner： 水野 彰 ,  電源開発株式会社
Agent (1)： 藤本 博光 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996118968
Publication number (International publication number)：1997299740
Application date： May. 14, 1996
Publication date： Nov. 25, 1997
Summary：

【要約】【課題】 地球温暖化ガス、大気汚染ガスなどの有害ガス、あるいはクリーンルーム等において製品の歩留まりを低下させるようなガス成分を除去する放電プラズマによるガス処理方法を提供する。【解決手段】 燃焼排ガス、クリーンルーム空気、室内空気などに含まれる微量有害ガス成分及び公害ガス成分の除去を行うガス処理方法において、放電プラズマを発生させる電極間に水酸化カルシウム層を充填した反応器20に、除去すべきガス成分を含むガス10を通して、放電プラズマ処理することにより除去すべきガス成分を除去することを特徴とする放電プラズマによるガス処理方法。

Claim (excerpt)：

燃焼排ガス、クリーンルーム空気、室内空気などに含まれる微量有害ガス成分及び公害ガス成分の除去を行うガス処理方法において、放電プラズマを発生させる電極間に水酸化カルシウム層を充填した反応器に、除去すべきガス成分を含むガスを通して、放電プラズマ処理することにより除去すべきガス成分を除去することを特徴とする放電プラズマによるガス処理方法。

IPC (6)：

B01D 53/32 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/56 ,  B01D 53/74 ,  B01D 53/62 ,  B01J 19/08

FI (6)：

B01D 53/32 ,  B01J 19/08 E ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 129 C ,  B01D 53/34 135 Z ,  B01D 53/34 135 A