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J-GLOBAL ID：200903060698323602

結像シミュレーション法及びそれを用いた結像シミュレーション装置及び記憶媒体

Inventor： 林 真市
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000396780
Publication number (International publication number)：2002196230
Application date： Dec. 27, 2000
Publication date： Jul. 12, 2002
Summary：

【要約】【課題】 照明光のNAが大きい場合、物体が2.5次元形状から外れる場合、物体の内部に焦点を合わせた場合でも、正確な結像シミュレーションができる方法及びその方法を用いた装置。【解決手段】 観察物体を含む3次元空間に入射する照明光の電場分布を計算する第1のステップと、照明光と観察物体の相互作用により発生する散乱光の3次元空間における電場分布を計算する第2のステップと、散乱光の結像光学系による結像を、結像光学系の特性グリーン関数群を用い、ヘルムホルツ-キルヒホッフ積分を用いて計算する第3のステップとを備える結像シミュレーション法。

Claim (excerpt)：

観察物体を含む3次元空間に入射する照明光の電場分布を計算する第1のステップと、前記照明光と前記観察物体の相互作用により発生する散乱光の前記3次元空間における電場分布を計算する第2のステップと、前記散乱光の結像光学系による結像を、前記結像光学系の特性グリーン関数群を用い、ヘルムホルツ-キルヒホッフ積分を用いて計算する第3のステップとを備えることを特徴とする結像シミュレーション法。

IPC (5)：

G02B 13/00 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/22 ,  G06F 19/00 110 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G02B 13/00 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/22 H ,  G06F 19/00 110 ,  H01L 21/30 502 Z ,  H01L 21/30 516 A

F-Term (11)：

2H052AC02 ,  2H052AF00 ,  2H087KA09 ,  2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087RA32 ,  2H087RA37 ,  5F046AA28 ,  5F046CB25 ,  5F046DA30 ,  5F046DB11