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J-GLOBAL ID：200903060706479285
エッジ検出装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995264244
Publication number (International publication number)：1997105605
Application date： Oct. 12, 1995
Publication date： Apr. 22, 1997
Summary：
【要約】【課題】調整の煩わしさを排除し、常に簡単且つ高精度に試料のエッジ検出を行うことにある。【解決手段】試料1と、照明光学系を通して光源20からの光を試料1を介して受光する第1の光検出器9を備えた光学系とを相対的に移動させながら第1の光検出器9の出力に基づいて試料1のエッジを検出するエッジ検出装置において、光源20から試料1に照射される光の強度に比例した値を検出するように第2の光検出器24を配置し、且つこの第2の光検出器24をその出力が一定になるように光源20の輝度を変化させる差動アンプ26を設ける。
Claim (excerpt)：
試料と、照明光学系を通して光源からの光を前記試料を介して受光する第1の光検出器を備えた光学系とを相対的に移動させながら前記光検出器の出力に基づいて前記試料のエッジを検出するエッジ検出装置において、前記光源から前記試料に照射される光の強度に比例した値を検出する第2の光検出器と、この第2の光検出器の出力が一定になるように前記光源の輝度を変化させる電圧制御手段とを備えたことを特徴とするエッジ検出装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/00 C
, G01J 1/02 A
