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J-GLOBAL ID：200903060718892846

オンチップレンズおよびその製造方法

Inventor： 上野 貴久
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 佐藤 隆久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992280694
Publication number (International publication number)：1994112459
Application date： Sep. 25, 1992
Publication date： Apr. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 受光部の実質的な開口率を向上させ、感度の向上を図り、微細化された素子の素子特性を向上させることができるオンチップレンズおよびその製造方法を提供すること。【構成】 複数の受光部4が形成してある半導体チップの上部表面に透明なレンズ材層が積層してあり、このレンズ材層の表面に、凸レンズ部が平面方向に複数形成されるオンチップレンズにおいて、受光部4に対応するように、レンズ材層20の表面に、凸レンズ部22が配置され、この凸レンズ部22間の谷部に凹レンズ部24が形成してある。凸レンズ部22が形成してあるオンチップレンズの表面に補助レンズ層34を皮膜することで凹レンズ部24形成することができる。また、凸レンズ部22が形成してあるオンチップレンズの表面を等方性エッチング処理することにより、凸レンズ部22間の谷部に凹レンズ部24を形成することもできる。

Claim (excerpt)：

複数の受光部が形成してある半導体チップの上部表面に透明なレンズ材層が積層してあり、このレンズ材層の表面に、凸レンズ部が平面方向に複数形成されるオンチップレンズにおいて、上記受光部に対応するように、レンズ材層の表面に、凸レンズ部が配置され、この凸レンズ部間の谷部に凹レンズ部が形成してあることを特徴とするオンチップレンズ。

IPC (4)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  H01L 23/28 ,  H04N 5/335

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-225278
  
• 特開平4-226073
  
• 特開平4-303801