集積型加速度計

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：志賀正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993333080
Publication number (International publication number)：1995005194
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】電極を電気接点へ接続する導体同士が交差せず、より良い指向性、再現性および感度を有する集積型加速度計を得る。【構成】たわみ梁により導電基板8に機械的に結合された可動質量体2に可動導電歯列12が設けられ、これと交互にかみあわされるように、固定導電歯列18,15が基板8に絶縁的に結合される。また、静電遮蔽体として機能する固定電極22が、固定歯列と可動歯列との間に、各可動歯が固定電極と固定歯との間に挿入されて可変容量コンデンサを構成するように配置される。

Claim (excerpt)：

導電基板と、前記導電基板に絶縁体を介して少なくとも1つのたわみ梁により機械的に結合され、前記基板に平行な第1の方向(Y)に移動可能な可動質量体と、前記可動質量体の少なくとも一方の側に設けられた、電気的に相互に連結されるとともに、前記基板に平行かつ前記第1の方向(Y)に垂直な第2の方向(X)に配列された導電可動歯列と、電気的に相互に連結されるとともに、前記基板に対して一体化かつ絶縁された固定導電歯列と、電気的に相互に連結されるとともに、前記第2の方向(X)に平行な指状の固定電極列からなる少なくとも1つの静電遮蔽体とから成る集積型加速度計であって、前記固定歯列は、前記第2の方向(X)に配列されるとともに、前記可動質量体の前記第1の方向における変位を測定するため、およびまたは、該変位をサーボ制御するための可変容量コンデンサを形成するために前記可動歯と交互に置かれるものであり、前記固定電極列は、各可動歯が1つの固定電極と1つの固定歯との間に挿入されるように、前記固定歯列と前記可動歯列との間に置かれるものであることを特徴とする集積型加速度計。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

基準電極付き容量式加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-124969 Applicant：オムロン株式会社
特表平4-504003

Cited by examiner (2)

基準電極付き容量式加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-124969 Applicant：オムロン株式会社
特表平4-504003

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