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J-GLOBAL ID:200903060867511901

塗布装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992209198
Publication number (International publication number):1994055120
Application date: Aug. 05, 1992
Publication date: Mar. 01, 1994
Summary:
【要約】【構成】 減圧装置を有するスライドホッパー型塗布装置において、該減圧装置の側面部とバックアップロールとの非接触なシール部の方向が、バックアップロール側板の示す鉛直方向によってエアーシールされていることを特徴とするスライドホッパー塗布装置により達成。【効果】 高速、薄膜のような条件下でも塗布むら等のない優れた塗布性を有する塗布方法及び塗布装置の提供。
Claim (excerpt):
減圧装置を有するスライドホッパー型塗布装置において、該減圧装置の側面部とバックアップロールとの非接触なシール部の方向が、バックアップロール側板の示す鉛直方向によってエアーシールされていることを特徴とするスライドホッパー塗布装置。

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