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J-GLOBAL ID：200903060887929058

露光装置及び該露光装置を用いてデバイスを製造する方法

Inventor： 大内 千種 ,  佐野 直人
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994017361
Publication number (International publication number)：1995226367
Application date： Feb. 14, 1994
Publication date： Aug. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】 レーザー光の発振強度を安定させたままレーザー光の波長幅を狭くすることが可能な露光装置を提供すること。【構成】 レーザー1からのほぼ平行なレーザー光を波長毎に分散させるプリズム3a、3bと、プリズム3a、3bからのレーザー光を波長毎に集光する凸レンズ4と、凸レンズ4により波長毎に集光せしめられたレーザー光の内の所望の波長域のレーザー光を通過させるスリット5と、スリット5を通過したレーザー光を波長毎に平行光にする凸レンズ6と、プリズム3a、3bと角分散が同じで分散の方向が逆である凸レンズ6により波長毎に平行光にされたレーザー光を合成するプリズム7a、7bと、プリズム7a、7bからのほぼ平行なレーザー光をマスク9に照射する光学系8と、マスク8のデバイスパターンをウエハー11上に投影する光学系10とを有する。

Claim (excerpt)：

レーザーからのほぼ平行なレーザー光を波長毎に分散させる第1の分散素子と、前記第1の分散素子からのレーザー光を波長毎に集光する第1の凸レンズと、前記第1の凸レンズにより波長毎に集光せしめられたレーザー光の内の所望の波長域のレーザー光を通過させる波長選択手段と、前記波長選択手段を通過したレーザー光を波長毎に平行光にする第2の凸レンズと、前記第2の凸レンズにより波長毎に平行光にされたレーザー光を合成するための前記第1の分散素子と角分散がほぼ同じで分散の方向が逆である第2の分散素子とを有することを特徴とする露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 515 D