Pat

J-GLOBAL ID：200903060888949508

形状測定方法および装置

Inventor： 川上 伸二
Applicant, Patent owner： 日立マクセル株式会社
Agent (1)： 折寄 武士
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999108490
Publication number (International publication number)：2000298011
Application date： Apr. 15, 1999
Publication date： Oct. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】 ヘッド形状等の測定に適した形状測定方法および装置を提供する。【解決手段】 2つの非接触の変位計を用い、一方の変位計による測定点を被測定物の表面に、他方の変位計による測定点を平滑な基準面にそれぞれ設定し、被測定物と基準面とを同時に移動させてそれぞれの変位を測定し、両者の測定値の差分により被測定物の表面形状を測定する。

Claim (excerpt)：

2つの非接触の変位計を用い、一方の変位計による測定点を被測定物の表面に、他方の変位計による測定点を平滑な基準面にそれぞれ設定し、被測定物と基準面とを同時に移動させてそれぞれの変位を測定し、両者の測定値の差分により被測定物の表面形状を測定することを特徴とする形状測定方法。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  G01B 21/20 ,  G11B 5/455

FI (3)：

G01B 11/24 A ,  G01B 21/20 C ,  G11B 5/455 Z

F-Term (23)：

2F065AA02 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC00 ,  2F065DD00 ,  2F065FF09 ,  2F065FF11 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL12 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ25 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069DD20 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG11 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ17 ,  2F069MM02