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J-GLOBAL ID：200903060893836894

光学素子、光学素子の製造方法、および、光アイソレータ

Inventor： 井上 浩之 ,  柴田 義隆
Applicant, Patent owner： 株式会社栃木ニコン ,  株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001171231
Publication number (International publication number)：2002365590
Application date： Jun. 06, 2001
Publication date： Dec. 18, 2002
Summary：

【要約】【課題】高い透過率を有する、ルチル単結晶を用いた光学素子を提供する。【解決手段】ルチル単結晶を用いた基板3上に、イオンビームを照射しながら、チタンとランタンとを含む酸化物層101,103と、酸化珪素層102,104とを順に堆積させる。酸化物層101、103と酸化珪素層102,104とが形成された基板3を、酸素雰囲気中でアニールする。これにより、成膜後の酸素プアな状態の層101〜104を酸素リッチな層にし、基板3から酸素が奪われるのを防止する。

Claim (excerpt)：

ルチル単結晶を用いた基板と、前記基板の少なくとも一面に配置された反射防止膜とを有し、前記反射防止膜は、順に積層された、チタンとランタンとを含む酸化物層と、酸化珪素層とを含んでいることを特徴とする光学素子。

IPC (6)：

G02B 27/28 ,  C01G 23/00 ,  C23C 14/48 ,  G02B 1/02 ,  G02B 1/11 ,  G02B 5/30

FI (6)：

G02B 27/28 A ,  C01G 23/00 C ,  C23C 14/48 D ,  G02B 1/02 ,  G02B 5/30 ,  G02B 1/10 A

F-Term (32)：

2H049BA02 ,  2H049BA05 ,  2H049BA08 ,  2H049BA42 ,  2H049BB03 ,  2H049BB65 ,  2H049BC01 ,  2H049BC25 ,  2H099AA01 ,  2H099BA02 ,  2H099CA05 ,  2H099CA11 ,  2K009AA07 ,  2K009BB04 ,  2K009CC03 ,  2K009DD04 ,  2K009DD06 ,  2K009FF01 ,  2K009FF02 ,  4G047CA05 ,  4G047CB04 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA46 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA09 ,  4K029DB05 ,  4K029GA01