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J-GLOBAL ID：200903060903354540

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 猪俣 克巳 ,  秋山 将宏 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993205371
Publication number (International publication number)：1995056331
Application date： Aug. 19, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂を含有する感放射線性樹脂組成物であって、例えば下記式【化1】で表わされる化合物の1,2キノンジアジドスルホン酸エステルを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【効果】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、現像性およびパターン形状に優れ、高感度であり、特にレジストパターンの寸法忠実度およびフォーカス許容性が著しく改善される。そのため本感放射線性樹脂組成物は高集積回路作製用ポジ型レジストとして好適に使用できる。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂および下記一般式(1)【化1】[一般式(1)において、X1〜X14は、同一または異なり、水素原子、アルキル基、アルコキシ基または-ODで示される基(但し、Dは水素原子であるかまたは1,2-キノンジアジド基を含有する有機基である。)であり、そしてR1〜R4は、同一または異なり、水素原子、アルキル基またはアリール基である、但し、X1〜X9およびX10〜X14のそれぞれの組み合せにおいて、少なくとも1つは-ODで示される基であり、これら-ODで示される基の複数個のDの少なくとも1つは1,2-キノンジアジド基を含有する有機基である。]で表わされる1,2-キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027