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J-GLOBAL ID：200903060906709684

ポジ型感光性組成物

Inventor： 國田 一人 ,  土屋 光正 ,  北谷 克司
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993217236
Publication number (International publication number)：1995072621
Application date： Sep. 01, 1993
Publication date： Mar. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】 感度が高く、しかも露光後における現像速度の速い、ポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 ポジ型感光性組成物を、下記一般式(I)で示される芳香族ジアゾニウム塩と、アルカリ可溶性高分子化合物とから構成する。【化1】式中、Arは2価の芳香族基を示し、Y1は2価の連結基を示し、X1- はアニオンを示し、nは0又は1を示す。

Claim (excerpt)：

下記一般式(I)で示される芳香族ジアゾニウム塩と、アルカリ可溶性高分子化合物とを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】(式中、Ar :置換基を有してもよい2価の芳香族基を表わす。Y1 :2価の連結基を表わす。X1- :アニオンを表わす。n :0又は1を示す。)

IPC (4)：

G03F 7/016 501 ,  G03F 3/10 ,  G03F 7/00 503 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-108334
  
• 特開昭63-106743