Pat

J-GLOBAL ID：200903060925177111

静電チャックおよびその製造方法

Inventor： 野沢 俊久 ,  杉山 成正 ,  久本 淳 ,  池田 貢基 ,  金丸 守賀 ,  大西 隆
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 明田 莞
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996024011
Publication number (International publication number)：1997219442
Application date： Feb. 09, 1996
Publication date： Aug. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】 静電チャックに対して面内温度分布を均一化させるのに適当した態様の溝を加工することにより信頼性及び耐久性の向上を図りながら、試料基板の面内における処理の均一性確保に資する。【解決手段】 試料基板11とチャック本体の間にガスが充填されて使用され、静電気力で試料基板11を吸着する静電チャック19において、チャック本体の試料基板11に接する面に使用ガスの充填圧力における平均自由行程以下の深さの溝22が加工されている。この溝22の深さが10μm以下であり、また、深さの均一性が±10%の誤差範囲内であることが良い。

Claim (excerpt)：

試料基板とチャック本体の間にガスが充填されて使用され、静電気力で試料基板を吸着する静電チャックにおいて、チャック本体の試料基板に接する面に前記使用ガスの充填圧力における平均自由行程以下の深さの溝が加工されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/302 B