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J-GLOBAL ID：200903060926959105
光学系評価装置及び光学系評価方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991251142
Publication number (International publication number)：1993087679
Application date： Sep. 30, 1991
Publication date： Apr. 06, 1993
Summary：
【要約】【構成】1000Å以下の波長の照明光源と、数枚からなるミラーと、各ミラーの空間的に位置を決定する移動機構とを有する光学部を、該光学部により得たパタン像を検出、拡大して表示する拡大撮像部の画像を観察しながら位置調整及びミラーの性能評価を行うことを特徴とする光学系評価装置及び光学系評価方法。【効果】遠紫外線から軟X線領域で用いられる光学系の光軸、収差補正等の位置調整及び多層膜ミラーの性能評価といった光学系評価を、所定の波長帯によりモニターのパタン像を見ながら直接調整することが可能となり、短時間に高精度の評価が行える。
Claim (excerpt)：
パタンと、該パタンを1000Å以下の波長の光で投影する照明光源と、複数のミラーと、各ミラーの空間的に位置を決定する移動機構とを有する光学部と、前記光学部により得た像を検出、拡大し、その像を表示する拡大撮像部とを備えたことを特徴とする光学系評価装置。
IPC (3)：
G01M 11/00
, G02B 7/00
, G21K 1/06
