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J-GLOBAL ID：200903060928218439
セルフテスト機能付加速度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
西野 卓嗣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991263846
Publication number (International publication number)：1993102283
Application date： Oct. 11, 1991
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】 セルフテスト機能付加速度センサにおいて、可動部のマスとマスの動きを制限し、加速度センサの破損を防止する上下のダンパー部との位置合わせを容易にする。【構成】 半導体チップに形成された片持ち梁に対向するガラス部品のダンパー部に可視光の透過率が60%以上の透明導電膜からなるセルフテスト電極を設ける。
Claim (excerpt)：
少なくとも二枚の対向する電極を備えたセルフテスト機能付加速度センサにおいて、一枚以上の電極の可視光の透過率が60%以上であることを特徴とするセルフテスト機能付加速度センサ。
IPC (4)：
H01L 21/66
, G01P 15/12
, H01L 23/02
, H01L 29/84
