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J-GLOBAL ID：200903060935793252

感放射線性材料

Inventor： 西久保 忠臣 ,  亀山 敦 ,  杉浦 誠 ,  平春 晃男
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997132998
Publication number (International publication number)：1998306122
Application date： May. 08, 1997
Publication date： Nov. 17, 1998
Summary：

【要約】【課題】 高い架橋反応性を有するにも係わらず保存安定性に優れ、耐熱性、耐溶剤性等にも優れた、アルカリ現像液によって現像可能なネガ型レジストや、層間絶縁膜、保護膜、平坦化膜等の永久膜形成材料として有用な感放射線性材料を提供する。【解決手段】 感放射線性材料は、ビニロキシメチルエステル基で代表される不飽和結合を2個以上有する化合物とフェナシルメチルエステル基で代表されるブロックされた感放射線性官能基を2個以上有する化合物の混合物を主体とするか、またはビニロキシメチルエステル基で代表される不飽和結合とフェナシルメチルエステル基で代表されるブロックされた感放射線性官能基とをそれぞれ2個以上有する化合物を主体とする。

Claim (excerpt)：

下記(A)成分および下記(B)成分の群から選ばれる少なくとも1種を主体とする感放射線性材料。(A)成分: 分子内に下記式(1)で表される基を2個以上有する化合物と、分子内に下記式(2)で表される基を2個以上有する化合物との混合物。(B)成分: 同一分子内に下記式(1)で表される基および下記式(2)で表される基をそれぞれ2個以上有する化合物。【化1】〔式(1)において、R1 、R2 およびR3 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜5のアルキル基を示し、aは1〜10の整数である。〕【化2】〔式(2)において、R4 は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基またはフェニル基を示し、R5 は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数1〜5のアルコキシル基、フェニル基または各アルキル基の炭素数が1〜5のジアルキルアミノ基を示し、bは0〜5の整数、cは0〜5の整数であり、R5 が複数存在するときは、相互に同一でも異なってもよい。〕

IPC (4)：

C08F 18/00 ,  C08F 8/14 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 502

FI (4)：

C08F 18/00 ,  C08F 8/14 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 502

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 硬化性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-107681   Applicant：日本油脂株式会社
• 特開昭59-184209
  
• 特開昭59-184209