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J-GLOBAL ID：200903060940562048

欠陥評価装置

Inventor： 守矢 一男
Applicant, Patent owner： 三井金属鉱業株式会社
Agent (1)： 伊東 辰雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993090594
Publication number (International publication number)：1994281589
Application date： Mar. 26, 1993
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 被検物体の表面に存在する傷等と内部欠陥や粒子とを明確に区別できるようにして、正確な欠陥の評価が得られるようにする。【構成】 被検物体101の観察表面103にレーザ光105を斜めに照射するレーザ照射手段、このレーザ光の屈折光109により被検物体内部の欠陥や粒子から生じる散乱光を観察表面103を介して観察する観察手段111,113,115を備えた欠陥評価装置において、主にp偏光成分を含むものと主にs偏光成分を含むものの双方の光で観察し得るようにする成分差別化手段117を具備する。

Claim (excerpt)：

被検物体の観察表面にレーザ光を斜めに照射するレーザ照射手段、このレーザ光の屈折光により被検物体内部の欠陥や粒子から生じる散乱光を前記観察表面を介して観察する観察手段を備えた欠陥評価装置において、主にp偏光成分を含むものと主にs偏光成分を含むものの双方の光で観察し得るようにする成分差別化手段を具備することを特徴とする欠陥評価装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-291552
  
• 特開昭64-088240
  
• 特開平3-264912
  
• 特開昭61-182553