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J-GLOBAL ID：200903060947146910
カーボンクラスターイオン生成方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995216279
Publication number (International publication number)：1997063494
Application date： Aug. 24, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：
【要約】【課題】 従来のカーボンクラスターイオンを生成させる方法の場合、レーザー照射を用いているため、イオン量が少なく実用化が困難であった。【解決手段】 本発明によるカーボンクラスターイオン生成方法は、イオン化室(2)内にカーボンクラスターを蒸着した部材(20)を配置し、カーボンクラスターが加熱されてクラスターイオンを生成する構成である。
Claim (excerpt)：
イオン源又はECR多価イオン源において、イオン化室(2)内に、予め蒸着されたカーボンクラスターを有する部材(20)を配置し、前記イオン化室(2)内におけるプラズマ又は高速電子により前記カーボンクラスターが加熱されて蒸発し、この蒸発による蒸気を前記イオン化室(2)内でイオン化又は多価イオン化させることを特徴とするカーボンクラスターイオン生成方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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