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J-GLOBAL ID：200903060954154740

チタンまたはチタン合金のエッチング方法

Inventor： 高橋 健一 ,  木暮 直毅
Applicant, Patent owner： 三菱瓦斯化学株式会社
Agent (1)： 永井 隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002200515
Publication number (International publication number)：2004043850
Application date： Jul. 09, 2002
Publication date： Feb. 12, 2004
Summary：

【課題】チタンまたはチタン合金の表面スケール除去と平滑化を同時に行うためのエッチング方法を提供する。【解決手段】(a)過酸化水素5〜30重量、(b)フッ化物1〜20重量、(c)硫酸、硝酸及び燐酸から選ばれた少なくとも一種を1〜10重量%、並びに(d)フッ素系界面活性剤0.001〜0.1重量%を含有し、且つ[(a)過酸化水素濃度]/[(b)フッ化物のフッ素濃度]が重量比で1.5〜3.0である水溶液で処理することを特徴とするチタンまたはチタン合金のエッチング方法。

Claim (excerpt)：

(a)過酸化水素5〜30重量、(b)フッ化物1〜20重量、(c)硫酸、硝酸及び燐酸から選ばれた少なくとも一種を1〜10重量%、並びに(d)フッ素系界面活性剤0.001〜0.1重量%を含有し、且つ[(a)過酸化水素濃度]/[(b)フッ化物のフッ素濃度]が重量比で1.5〜3.0である水溶液で処理することを特徴とするチタンまたはチタン合金のエッチング方法。

IPC (2)：

C23F1/26 ,  C23G1/10

FI (2)：

C23F1/26 ,  C23G1/10

F-Term (24)：

4K053PA09 ,  4K053QA01 ,  4K053RA05 ,  4K053RA13 ,  4K053RA15 ,  4K053RA16 ,  4K053RA17 ,  4K053RA18 ,  4K053RA25 ,  4K053RA44 ,  4K053RA51 ,  4K053RA64 ,  4K053SA06 ,  4K053YA03 ,  4K057WA01 ,  4K057WA04 ,  4K057WB08 ,  4K057WE02 ,  4K057WE03 ,  4K057WE07 ,  4K057WE25 ,  4K057WE30 ,  4K057WF01 ,  4K057WG03