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J-GLOBAL ID：200903060974753748

位置検出装置および像検出装置

Inventor：
三島 和彦

About 三島 和彦


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000044497
Publication number (International publication number)：2001237160
Application date： Feb. 22, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：
【要約】【課題】 構造を単純化し、且つより高精度な焦点位置の検出を可能にする。【解決手段】 光源413側に開口部を有し、該開口部の一部となる第1開口部450を通過した光を物体としてのウエハ6面上に斜め方向から照射且つ該第1開口部450をウエハ6上に略結像する照明光学系と、ウエハ6の面上からの反射光束を受光して該第1開口部像の位置変化を検出する検出手段としての光電変換素子419とを備え、開口部の第1開口部450以外である第2開口部417を通過した光を該照明光学系内に設けた反射部材422により、ウエハ6側に導光する事無く、光電変換素子419に導光し、光電変換素子419で得られた第1開口部像位置と第2開口部像位置との情報に基づき、ウエハ6面の焦点位置を検出する。
Claim (excerpt)：
物体の位置を検出する位置検出装置に於いて、光源手段側に開口部を有し、該開口部の一部となる第1開口部を通過した光を前記物体面上に斜め方向から照射且つ該第1開口部を該物体上に略結像する照明光学系と、該物体面上からの反射光束を受光して該第1開口部像の位置変化を検出する検出手段とを備え、該開口部の該第1開口部以外である第2開口部を通過した光を該照明光学系内に設けた反射部材により、該物体側に導光する事無く、該検出手段に導光し、該検出手段で得られた該第1開口部像位置と該第2開口部像位置との情報に基づいて、該物体面の焦点位置を検出する事を特徴とする位置検出装置。
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  G02B 7/28
FI (4)：
H01L 21/30 526 B ,  G02B 7/11 Z ,  G02B 7/11 M ,  G02B 7/11 J
F-Term (17)：
2H051AA10 ,  2H051AA11 ,  2H051BA47 ,  2H051BA70 ,  2H051BA72 ,  2H051CB05 ,  2H051CB11 ,  2H051CB14 ,  2H051CC03 ,  2H051CC04 ,  2H051CE14 ,  5F046ED02 ,  5F046FA09 ,  5F046FA20 ,  5F046FB10 ,  5F046FB12 ,  5F046FB16
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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