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J-GLOBAL ID:200903060975512817

光ディスク・スタンパとその製造方法およびシステム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 青山 葆 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998191423
Publication number (International publication number):1999086354
Application date: Jul. 07, 1998
Publication date: Mar. 30, 1999
Summary:
【要約】【課題】 光ディスク・スタンパ、その光ディスク・スタンパの生産方法、その光ディスク・スタンパを生産するシステム(60)、そしてそのスタンパを用いて光ディスクを複製する方法を開示する。【解決手段】 この光ディスク・スタンパは、少なくとも一つの第1材料(46)の層と少なくとも一つの第2材料(48)の層からなるパターン構成材料(52)を支持する基板(42)の上に直接形成される。この第1および第2材料は金属および半導体を含むことができる。そのパターン構成材料は、選択された領域(56)にエネルギ(54)を露光される。パターン構成材料の露光されていない領域はその後取り除かれ、これによって光ディスク・スタンパが完成する。露光されていないパターン構成材料が取り除かれた後に残る露光された選択領域に、第1および第2材料はアモルファス合金を形成することができる。この光ディスク・スタンパは光データ貯蔵ディスクの複製のために使用することができる。更には光データ蓄積ディスク・スタンパを製造する方法の実施をするシステムを開示している。
Claim (excerpt):
基板(42)を提供するステップと、少なくとも一つの第1材料(46)の層と、少なくとも一つの第2材料(48)の層からなるパターン構成材料(52)を上記基板の上に提供するステップと、上記パターン構成材料の選択された領域(56)をエネルギ(54)に露光するステップと、上記選択された領域以外の上記パターン構成材料を取り除き、露光されたパターン構成材料が光ディスク・スタンパの上にレリーフパターンを形成するステップと、からなる光ディスク・スタンパ(40)の製作方法。
IPC (2):
G11B 7/26 511 ,  C23F 1/02
FI (2):
G11B 7/26 511 ,  C23F 1/02

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