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J-GLOBAL ID：200903060981687769

光学的な開口の作製方法

Inventor： 大海 学 ,  加藤 健二 ,  光岡 靖幸 ,  新輪 隆 ,  笠間 宣行 ,  市原 進 ,  前田 英孝 ,  篠原 陽子
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 坂上 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000355972
Publication number (International publication number)：2002160200
Application date： Nov. 22, 2000
Publication date： Jun. 04, 2002
Summary：

【要約】【課題】 本発明の課題は、簡便な方法で均一な開口径を有する微小開口を形成する方法を提供することである。【解決手段】 錐状のチップ1の先端に光学的な開口を形成する光学的な開口の作製方法において、チップ1と、チップ1の近傍に配置され、チップ1と略同じ高さを有するストッパー2と、チップ1上に形成された遮光膜からなる被開口形成体に対して、チップ1およびストッパー2を覆い、遮光膜3の材質よりも硬い材質から成る押し込み体6を、チップ1に向かう成分を有する力Fによって変位させることによって、チップ1の先端に光学的な開口を形成する。

Claim (excerpt)：

錐状のチップ先端に光学的な開口を形成する光学的な開口の作製方法において、前記チップと、前記チップの近傍に配置され、前記チップと略同じ高さを有するストッパーと、少なくとも前記チップ上に形成された遮光膜からなる被開口形成体に対して、少なくとも前記チップおよび前記ストッパーの少なくとも一部を覆い、前記遮光膜の材質よりも硬い材質から成る押し込み体を、前記チップに向かう成分を有する力によって変位させることによって、前記チップ先端に光学的な開口を形成することを特徴とする光学的な開口の作製方法。

IPC (4)：

B82B 3/00 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G11B 7/22

FI (4)：

B82B 3/00 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G11B 7/22

F-Term (13)：

2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC26 ,  2H052AD31 ,  2H052AD35 ,  5D119AA11 ,  5D119AA22 ,  5D119AA38 ,  5D119BA01 ,  5D119CA06 ,  5D119JA34 ,  5D119JA64