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J-GLOBAL ID：200903061060742701

反射屈折光学系

Inventor： 大村 泰弘
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994313354
Publication number (International publication number)：1996171054
Application date： Dec. 16, 1994
Publication date： Jul. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】 像側における大開口数を達成し、像側作動距離を十分に確保した上でビームスプリッタの小型化を図り、クォーターミクロンの解像を得る。【構成】 本発明において、第1面Rからの光は、第1レンズ群G1 、ビームスプリッタBS、拡大倍率の凹面鏡M、ビームスプリッタBS及び第2レンズ群G2 の順に通過して第2面W上に達し、第2面W上には第1面Rの縮小像が形成される。本発明は、上述の構成に基づいて凹面鏡Mの結像倍率の好適な範囲と、第2レンズ群G2 の好適な構成とを見出したものである。

Claim (excerpt)：

第1面の縮小像を第2面上に形成する反射屈折光学系において、第1レンズ群、ビームスプリッタ、拡大倍率を有する凹面鏡及び第2レンズ群を含み、前記第1面からの光を前記第1レンズ群及び前記ビームスプリッタの順に通過させて前記凹面鏡に導くと共に、前記凹面鏡にて反射された前記ビームスプリッタからの光を前記ビームスプリッタ及び前記第2レンズ群の順に通過させて前記第2面に導き、前記第2レンズ群の後側主点位置は前記第2レンズ群の前記ビームスプリッタ側の光線入射面位置よりも像側に位置し、以下の条件を満足することを特徴とする反射屈折光学系。-1<1/β<SB>M </SB><0.50.85<L<SB>1 </SB>/f<SB>2</SB>但し、β<SB>M </SB>:前記凹面鏡の結像倍率、L<SB>1 </SB>:前記後側主点位置と前記光線入射面との距離、f<SB>2 </SB>:前記第2レンズ群の焦点距離、である。