Pat
J-GLOBAL ID：200903061088579105
ウエーハのめっき用ラック及びそれを用いためっき方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高月 猛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994036147
Publication number (International publication number)：1995243098
Application date： Mar. 07, 1994
Publication date： Sep. 19, 1995
Summary：
【要約】【目的】ウエーハのめっき処理について、ウエーハ1枚当たりのめっき液の使用量の節減や装置全体の小型化、さらにはめっき槽やめっき液供給機構などの装置要素の簡易化を図れるようにする。【構成】保持対象のウエーハWの周縁部を一定の幅で支持するための支持面4fを有する環状の支持部材4、及びこの支持部材に支持されたウエーハの裏面をめっき液からシールするためのシール機構5よりなる複数の保持ユニット3をそれぞれの支持部材の周縁を介して複数本の支柱2により多段状態に支持させてなる構造のめっき用ラックを用い、その保持ユニットの数に応じた枚数のウエーハを1個のラックについて同時処理できるようにしている。
Claim (excerpt)：
めっき液にめっき対象面を選択的に接触させる状態でウエーハを保持するめっき用ラックにおいて、保持対象のウエーハの周縁部を一定の幅で支持するための支持面を有する環状の支持部材、及びこの支持部材に支持されたウエーハの裏面をめっき液からシールするためのシール機構よりなる複数の保持ユニットをそれぞれの支持部材の周縁を介して複数本の支柱により多段状態に支持させてなることを特徴とするめっき用ラック。
IPC (5)：
C25D 17/08
, C25D 5/02
, C25D 7/12
, H01L 21/68
, H01L 21/321
