Pat
J-GLOBAL ID：200903061114527704
圧力隔壁およびこれを用いたX線露光装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997058422
Publication number (International publication number)：1998239500
Application date： Feb. 26, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：
【要約】【課題】 機械的強度が充分で、しかも薄肉のX線取り出し窓を実現する。【解決手段】 ビームダクト2から露光室1へX線を取り出すためのX線取り出し窓E1 のベリリウム箔11の厚さは、ビームダクト2と露光室1の圧力差によってベリリウム箔11がたわむときにその中央に発生する引張り応力に基づいて設計される。フランジ12とベリリウム箔11の接触部で中央より大きな引張り応力が発生するのを防ぐために、フランジ12の内周縁に大きな曲率半径を有する湾曲部12aを設ける。
Claim (excerpt)：
所定の空間を2つの空間部に分割する薄膜と、該薄膜をその外周部において支持する支持手段を有し、該支持手段が、前記薄膜の前記外周部を所定の湾曲面に沿って湾曲させる湾曲支持部を備えていることを特徴とする圧力隔壁。
IPC (4)：
G21K 5/00
, G03F 7/20 503
, H01L 21/027
, H05H 13/04
G21K 5/00 W
, G03F 7/20 503
, H05H 13/04 U
, H01L 21/30 531 A
