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J-GLOBAL ID：200903061116028152
環境制御型走査型透過電子線観察装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997083563
Publication number (International publication number)：1998283962
Application date： Apr. 02, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：
【要約】【課題】 含水試料をあるがままの状態に保ちながら、試料内部の状態を観察できる電子線観察装置を提供する。【解決手段】 試料室内を低真空のガス雰囲気に保ち、試料を保持する試料ホルダーに、試料を載置するメッシュホルダーと、試料温度を制御するペルチエ素子を配置し、前記メッシュホルダーの下方に試料を透過した透過電子を検出する透過電子検出器を配置する。
Claim (excerpt)：
1次電子線を発生させる電子銃を収納する高真空の電子銃室と、試料を保持する試料ホルダーを収納する低真空のガス雰囲気を保った試料室と、を備えた環境制御型走査型透過電子線観察装置において、前記試料ホルダーは、試料を載置するメッシュホルダーと、試料温度を制御するペルチエ素子を有し、前記試料室は、試料を透過した透過電子を検出する透過電子検出器を収納する、ことを特徴とする環境制御型走査型透過電子線観察装置。
FI (2)：
H01J 37/20 A
, H01J 37/20 E
