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J-GLOBAL ID：200903061129440044

AC型プラズマディスプレイパネル及びその製造方法

Inventor： 段谷 恭史
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 土井 育郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995115387
Publication number (International publication number)：1996315733
Application date： May. 15, 1995
Publication date： Nov. 29, 1996
Summary：

【要約】【目的】 位置合わせ精度が良好で、しかも抵抗値の安定した複合電極を前面板に形成する。【構成】 前面板の背面側に設ける複合電極のうち維持電極4をITOで構成するとともに、バス電極を維持電極4側から順にCrの第1層電極5a、Cuの第2層電極5b、Crの第3層電極5cの三層構造にし、且つ第2層電極5bを第3層電極5cで覆うようにする。第2層電極5bのCuが第3層電極5cのCrで保護されるので、後工程での熱により酸化して抵抗値が上昇するようなことがない。前面板1上にITO膜を形成し、第3層電極5cが第2層電極5bを覆う状態でバス電極を形成した後、ITO膜をエッチングによりパターニングして維持電極4を形成する。ITO膜のエッチャントが第2層電極5bのCuを溶かすことがなく、バス電極の三層構造が維持され、抵抗値も上昇しない。

Claim (excerpt)：

前面板と背面板とが互いに平行に且つ対向するように配設され、両者の間に設けられたバリヤーリブにより表示要素しての複数のセルが形成されており、前記前面板の背面側に透明電極である維持電極と金属電極であるバス電極とからなる複合電極を備え、前記背面板の前面側に前記複合電極と直交するように前記バリヤーリブの間に位置してアドレス電極を備えてなるAC型プラズマディスプレイパネルにおいて、前記維持電極をITOで構成し、前記バス電極を維持電極側から順にCrの第1層電極、Cuの第2層電極、Crの第3層電極の三層構造にし、且つ前記第2層電極を前記第3層電極で覆うようにしたことを特徴とするAC型プラズマディスプレイパネル。

IPC (3)：

H01J 11/00 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (3)：

H01J 11/00 B ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B