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J-GLOBAL ID：200903061185112033

球状デバイス露光装置及び製造方法

Inventor： 薮 修一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997057609
Publication number (International publication number)：1998256123
Application date： Mar. 12, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】 球状デバイス露光に好適な露光装置及び製造方法を提供すること。【解決手段】 球状デバイス材料をスピンドルでクランプし、スピンドル軸回りに回転させながら、ビーム(例えば電子ビーム)をフォーカスさせながらスキャン露光させること。

Claim (excerpt)：

球状デバイス材料を球の中心軸の回りに回転させる回転手段と、ビームを球面位置にフォーカスさせる手段を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  H01L 27/00 301

FI (2)：

H01L 21/30 541 Z ,  H01L 27/00 301 Z