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J-GLOBAL ID：200903061216238880

圧電振動片および圧電デバイス

Inventor：
棚谷 英雄

About 棚谷 英雄


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (3)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004309137
Publication number (International publication number)：2006121544
Application date： Oct. 25, 2004
Publication date： May. 11, 2006
Summary：
【課題】小型化をする上で、安定した屈曲振動を実現し、CI値を低く抑えることができる圧電振動片と、このような圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。【解決手段】圧電材料により形成された基部51と、前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕35,36と、前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、前記長溝33,34に形成した駆動用の電極とを備えており、前記各振動腕の幅寸法が、前記振動腕の前記基部に対する付け根の箇所で、先端側に向かって急激に縮幅する第1の縮幅部TLと、この第1の縮幅部の終端から、さらに先端側に向かって、徐々に縮幅する第2の縮幅部CLと、この第2の縮幅部の終端において、前記幅寸法が先端側に向かって増加に転じる幅変化の変更点Pとを有する。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
圧電材料により形成された基部と、 前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕と、 前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、 前記長溝に形成した駆動用の電極と を備えており、 前記各振動腕の幅寸法が、前記振動腕の前記基部に対する付け根の箇所で、先端側に向かって急激に縮幅する第1の縮幅部と、 この第1の縮幅部の終端から、さらに先端側に向かって、徐々に縮幅する第2の縮幅部と、 この第2の縮幅部の終端において、前記幅寸法が先端側に向かって等しい寸法で延びるか、もしくは増加に転じる幅変化の変更点Pと を有することを特徴とする、圧電振動片。
IPC (5)：
H03H 9/215 ,  H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (5)：
H03H9/215 ,  H03H9/19 J ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
F-Term (16)：
5J108AA00 ,  5J108AA01 ,  5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108BB08 ,  5J108CC06 ,  5J108CC08 ,  5J108CC09 ,  5J108CC12 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108HH04 ,  5J108KK06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (5)
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