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J-GLOBAL ID：200903061232157989

研磨装置及び研磨方法

Inventor： 中田 悦郎 ,  吉村 直行
Applicant, Patent owner： カヤバ工業株式会社
Agent (1)： 天野 泉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996069055
Publication number (International publication number)：1997234630
Application date： Feb. 29, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】 加工面の形状のいかんに拘らず、また、導電性材料や非導電性材料の区別なく、能率的かつ確実に研磨,バリ取りなどを実現可能にする。【解決手段】 加工物31の加工面31aに晒す電場を発生する電場発生手段Pを設け、電場発生手段Pが発生する電場中に置かれた電気粘性流体を、流体流動手段Qにより、少なくとも上記加工面31に接触するように流動させる。

Claim (excerpt)：

加工物の加工面に晒す電場を発生する電場発生手段と、該電場発生手段が発生する電場中に置かれた電気粘性流体を少なくとも上記加工面に接触するように流動させる流体流動手段と、を備えた研磨装置。