パラメータ補償付き複数パラメータうず電流計測システム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：絹谷信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996199908
Publication number (International publication number)：1998078336
Application date： Jul. 30, 1996
Publication date： Mar. 24, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【解決手段】導電性を有する被計測物22の複数のパラメータを計測するために、1つのうず電流コイル及び1つの固定周波数を用いる。センサコイル20,信号条件化電気装置12等からなるうず電流センサは、被計測物22の厚さt及びコイル20から被計測物22への距離を計測可能である。被計測物22からコイル20への距離、すなわちリフト-オフ(lift-off)距離と、被計測物22の電気的特徴の一つ(抵抗率など)を同時に計測可能である。【効果】リフト-オフ距離に起因するみかけの抵抗率の誤差を矯正する場合、被測定物22の素材の特徴を把握できる。被計測物の1つの特性及びセンサの1つの特性がどのような組み合わせであっても、これを決定することができる。また、うず電流センサの精度が高くなると共に、1個のコイル20及び1つの固定周波数しか使用しないため低コストで製造できる。

Claim (excerpt)：

被計測物の物理的パラメータ特性を計測する方法であって、上記被計測物のパラメータが素材,厚さ,温度,透磁率及び導電率を含み、予め選択された直径の電気コイルを有する電流センサを設けるステップと、上記コイルを上記被計測物から選択された分離距離だけ離して位置するステップと、上記励磁信号を計測して選択された角周波数の励磁信号を上記コイルにもたらすステップと、上記励磁信号を計測して上記被計測物のパラメータを決定するステップとを含む方法であり、システムの電気的パラメータを定義する電気的構成要素を有する励磁回路を設けるステップであって、上記励磁回路が上記システムの電気的パラメータにより定義される励磁回路インピーダンスをさらに有するステップと、上記被計測物の透磁率と抵抗率との実効積及び上記分離距離が励磁回路インピーダンス平面において一点に位置するように選択された一つの角周波数において、励磁信号を上記コイルにもたらすステップと、上記励磁信号の電圧の振幅(マグニチュード)を計測するステップと、上記励磁信号の位相を計測するステップと、上記励磁回路インピーダンス平面上の一点を示す信号を発生させるステップと、上記パラメータのうち所望の一つの計算値を示す信号を発生させるステップとをさらに含むことを特徴とする方法。

IPC (3)：

G01D 21/02 , G01B 7/06 , G01N 27/90

FI (3)：

G01D 21/02 , G01N 27/90 , G01B 7/10 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開昭63-081262
温度及び変位測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-090302 Applicant：株式会社キーエンス

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