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J-GLOBAL ID：200903061247260409

フォーカシング装置

Inventor： 巣山 尚久
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996121838
Publication number (International publication number)：1997304703
Application date： May. 16, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明は、試料面の観察点に対する合焦制御を効率よく行うことができるフォーカシング装置を提供する。【解決手段】ステージ11上の試料12面での任意の3点121、122、123でのX、Y座標情報およびこれら各点121、122、123での合焦位置に相当するZ座標情報から試料12面の仮想平面を数式化した平面式を演算部19により求め、その後、試料12面の観察点に対するX、Y座標情報より、平面式に基づいて観察点での試料12面の傾き成分を補正したZ座標情報を求め、このZ座標情報に基づいて試料12面の観察点に対する対物レンズ14による合焦を制御する。

Claim (excerpt)：

試料を載置するステージと、前記試料面またはステージ面での複数の任意位置に対するX、Y座標情報およびこれら複数の任意位置での合焦位置に相当するZ座標情報から前記試料面またはステージ面の仮想平面を数式化した平面式を求める第1の演算手段と、前記試料面の任意の観察点に対するX、Y座標情報より前記平面式に基づいて前記観察点での試料面またはステージ面の傾き成分を補正したZ座標情報を生成する第2の演算手段と、この第2の演算手段で生成されたZ座標情報に基づいて前記試料面の観察点に対する合焦を制御する制御手段とを具備したことを特徴とするフォーカシング装置。

IPC (4)：

G02B 21/26 ,  G01B 9/04 ,  G02B 7/28 ,  G03B 13/36

FI (5)：

G02B 21/26 ,  G01B 9/04 ,  G02B 7/11 J ,  G02B 7/11 N ,  G03B 3/00 A