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J-GLOBAL ID：200903061258557810

走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
宮谷 竜也

About 宮谷 竜也

, 
中島 邦雄

About 中島 邦雄


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998256880
Publication number (International publication number)：2000088735
Application date： Sep. 10, 1998
Publication date： Mar. 31, 2000
Summary：
【要約】【課題】 従来の走査型プローブ顕微鏡においては、一つのプローブで試料表面を走査していたため、測定時間を短縮するためには走査周波数を高くするか、走査線数を減らすしか方法が無かった。しかし、走査周波数を高くすると、制御系の追従性の問題等から誤差が大きくなり真の表面形状から大きくずれてしまう、さらに、サンプルやプローブのダメージも大きくなる。また、走査線数を減らせば、画質が悪くなってしまう。【解決手段】 本発明における走査型プローブ顕微鏡は、先端にプローブを持つ複数のカンチレバーを有し、それぞれのカンチレバーのたわみを独立に検出し、カンチレバーのたわみを一定に保つように各カンチレバーを独立に試料へ向けて上下させる手段を有しているのため、一つのプローブが走査する範囲を小さくできるので走査周波数、走査線数を変えずに測定時間を短縮することができる。
Claim (excerpt)：
微小なプローブが試料表面上を走査することによって、試料表面の微小な構造を観察する走査型プローブ顕微鏡において、複数のプローブを持ち、それぞれが独立して試料に対して上下に移動する手段と、独立にそれぞれのプローブの変位を検出する手段とを有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 13/16 ,  G01B 11/30 ,  G01B 21/30
FI (3)：
G01N 37/00 F ,  G01B 11/30 Z ,  G01B 21/30 Z
F-Term (30)：
2F065AA02 ,  2F065AA09 ,  2F065AA12 ,  2F065AA22 ,  2F065BB13 ,  2F065DD06 ,  2F065FF43 ,  2F065FF51 ,  2F065GG12 ,  2F065GG13 ,  2F065GG16 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ15 ,  2F065JJ24 ,  2F065NN08 ,  2F065PP24 ,  2F069AA02 ,  2F069AA06 ,  2F069CC06 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG52 ,  2F069GG58 ,  2F069GG62 ,  2F069GG66 ,  2F069GG67 ,  2F069HH02 ,  2F069JJ02 ,  2F069JJ04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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