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J-GLOBAL ID：200903061283351526

クリーンルーム用イオナイザー

Inventor： 通山 雅貴 ,  鈴木 国夫
Applicant, Patent owner： 株式会社テクノ菱和
Agent (1)： 木内 光春
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993163510
Publication number (International publication number)：1994325894
Application date： Jul. 01, 1993
Publication date： Nov. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 イオナイザー電極の先端への付着物を減少させることができ、クリーンルームの汚染防止が可能なクリーンルーム用イオナイザーを提供する。【構成】 クリーンルームの天井に本体ケース1を設ける。本体ケース1内に直流パルス電源2、左右一対の正負のイオナイザー電極3を設ける。イオナイザー電極3の上端を直流パルス電源2に接続する。イオナイザー電極3の下端周囲に、絶縁材4を巻き付ける。絶縁材4の周囲に、加熱用ニクロム線5を巻き付ける。加熱用ニクロム線5の周囲に、断熱材6を巻き付ける。加熱用ニクロム線5の両端を、断熱材6の上下から引き出し、加熱用高耐圧絶縁トランス7を介して交流100V電源に接続する。

Claim (excerpt)：

電源および前記電源に接続されたイオナイザー電極を有し、前記イオナイザー電極から放電させることによりイオンを発生させ、帯電した物体の電荷を中和させるクリーンルーム用イオナイザーにおいて、前記イオナイザー電極端部に、前記イオナイザー電極を加熱するための加熱装置を備えたことを特徴とするクリーンルーム用イオナイザー。

IPC (4)：

H05F 3/04 ,  F24F 7/06 ,  H01T 19/04 ,  H01T 23/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-194527
  
• 特開昭55-143788
  
• 特開昭62-117288