液浸リソグラフィー用屈折性投影対物レンズ

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田辺徹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004352297
Publication number (International publication number)：2005189850
Application date： Dec. 06, 2004
Publication date： Jul. 14, 2005
Summary：

【課題】液浸リソグラフィ-に適するとともに、横色収差に関して良好な補正状態を有する屈折性投影対物レンズを提供する。【解決手段】液浸マイクロリソグラフィーに適する純粋に屈折性の投影対物レンズは、5個のレンズ群を有する単一ウェスト形システムとして設計され、各群は第1レンズ群よりそれぞれ、負、正、負、正、正の屈折力を有する。ビーム束が最も狭く収縮する収縮部は、前記ウェスト部の領域内に位置する。ウェスト距離ATは、物体平面と前記収縮部Xとの間において形成される。条件AT/L≦0.4が、前記ウェスト距離ATと投影対物レンズの物像距離Lとの間における距離比AT/Lに関して成り立つ。本発明の投影対物レンズの実施例は、非常に高い開口数NA>1.1と併せて大きい像フィールドを達成するとともに、全体としての大きさが小型であることと横色収差が良好に補正されることとによって区別される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

自身の物体平面内に配置されるパターンを自身の像面に、特に自身の最後の光学素子と前記像面との間において配置される浸液媒体を利用して投影する屈折性投影対物レンズにおいて: 前記物体平面に続く、負の屈折力を有する第1のレンズ群(LG1)と; 前記第1のレンズ群に続く、正の屈折力を有する第2のレンズ群(LG2)と; 前記第2のレンズ群に続く、負の屈折力を有する第3のレンズ群(LG3)と; 前記第3のレンズ群に続く、正の屈折力を有する第4のレンズ群(LG4)と; 前記第4のレンズ群に続く、正の屈折力を有する第5のレンズ群(LG5)と; 前記第4のレンズ群から前記第5のレンズ群への遷移領域内において配置されるシステム開口(5)とを有し、物体側胴部(6)と像側胴部(8)と、前記物体側胴部と前記像側胴部との間において配置されるとともにビームが最も狭く収縮する収縮部(X)を持つウェスト部(7)とを有する単一ウェスト形システムを形成するようになっており、ウェスト距離ATは、前記物体平面と前記収縮部との間において形成され、条件AT/L≦0.4が、前記ウェスト距離ATと投影対物レンズの物像距離Lとの間における距離比AT/Lに関して成り立つ屈折性投影対物レンズ。

IPC (4)：

G02B13/24 , G02B13/18 , G03F7/20 , H01L21/027

FI (4)：

G02B13/24 , G02B13/18 , G03F7/20 521 , H01L21/30 515D

F-Term (19)：

2H087KA21 , 2H087LA01 , 2H087NA04 , 2H087PA15 , 2H087PA17 , 2H087PB19 , 2H087QA01 , 2H087QA06 , 2H087QA18 , 2H087QA21 , 2H087QA25 , 2H087QA32 , 2H087QA41 , 2H087QA45 , 2H087UA03 , 2H087UA04 , 5F046BA03 , 5F046CB25 , 5F046DA12

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

米国特許第4,480,910号
米国特許第5,610,683号
欧州特許第0 605 103号

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