Pat

J-GLOBAL ID：200903061294523302

加速度センサ

Inventor： 森 雅友 ,  納谷 六郎 ,  鈴木 章悟
Applicant, Patent owner： 曙ブレーキ工業株式会社 ,  日本インター株式会社
Agent (1)： 長瀬 成城
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994304622
Publication number (International publication number)：1996160067
Application date： Dec. 08, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】2次元方向の加速度を精度よく検出できる2次元加速度センサを提供する。【構成】加速度センサは錘1bと固定部1とを片持梁1aによって連結した構成からなり、片持梁1aは抵抗素子を配置する面Sの幅Wが、反対側の面の幅よりも広く形成してある。この面上に2方向の加速度を検出する加速度センサを配置する。X方向の加速度がかかると、この時の加速度により錘がX方向に移動して片持梁が機械的に変形し、この結果、片持梁部に配置したピエゾ抵抗素子RX1、RX2、RX3、RX4に変化が生じ、この時の各抵抗素子の電気抵抗の変化がホイートストンブリッジ電圧の変化として検出する。また、Y方向の加速度がかかると、錘がY方向に移動して片持梁が機械的に変形し、この結果、ピエゾ抵抗素子RY1、RY2、RY3、RY4に変化が生じ、この時の各抵抗素子の電気抵抗の変化がホイートストンブリッジ電圧の変化として検出する。

Claim (excerpt)：

シリコン基板を加工して、固定部1と、加速度によって移動する錘1bと、前記固定部と錘とを接続する梁部1aと、前記梁部に配置した抵抗素子とよりなる片持梁式加速度センサであって、前記抵抗素子は、シリコン基板と平行方向の加速度を検出するために前記梁部の付け根部で且つエッジ部に配置した抵抗素子RX1〜RX4と、シリコン基板と直角な方向の加速度を検出するために梁部の中央部に配置した抵抗素子RY1〜RY4とから構成したことを特徴とする加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/02 ,  G01P 15/12