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J-GLOBAL ID：200903061299763247

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

Inventor： 土屋 勝則 ,  藤井 正 ,  服部 健治 ,  吉田 哲也
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992153416
Publication number (International publication number)：1993341527
Application date： Jun. 12, 1992
Publication date： Dec. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】 アルカリ水溶液で現像でき、かつ、諸性能に優れた高信頼性ソルダマスクを形成しうる、熱安定性の高い感光性樹脂組成物を提供すること。【構成】 (a)側鎖にカルボキシル基及び光反応性不飽和基を有し、かつアルカリ水溶液に可溶性であるオリゴマー、(b)少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物、(c)活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系、(d)一般式(I)【化1】〔式中、R2及びR3は各々独立して水素原子又はメチル基であり、繰り返し単位の個数を示すl及びmはl+mが2〜30となるように選ばれる正の整数である〕で示される光重合性化合物並びに(e)グアニジン系化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(a)側鎖にカルボキシル基及び光反応性不飽和基を有し、かつアルカリ水溶液に可溶性であるオリゴマー、(b)少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物、(c)活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系、(d)一般式(I)【化1】〔式中、R2及びR3は各々独立して水素原子又はメチル基であり、繰り返し単位の個数を示すl及びmはl+mが2〜30となるように選ばれる正の整数である〕で示される光重合性化合物並びに(e)グアニジン系化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/038 503 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/032 501 ,  G03F 7/085 ,  H05K 3/28