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J-GLOBAL ID：200903061315097759

共焦点レーザ顕微鏡

Inventor： 立川 義彦
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992053449
Publication number (International publication number)：1993257064
Application date： Mar. 12, 1992
Publication date： Oct. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 被測定物の深さ方向についての入射光ビームの位置決めが高速に行える共焦点レーザ顕微鏡を提供する。【構成】 レーザ光源と、このレーザ光源の出力光の光路を光軸に対して直交する2次元方向に変化させる光路制御素子と、この光路制御素子の出力光を被測定物に導く測定光学系と、前記被測定物からの被測定光を検出する光検出器を備えた共焦点レーザ顕微鏡において、前記測定光学系に、ビーム分岐要素と、反射光学要素と、この反射光学要素を光軸方向に沿って変位させるアクチュエータを設け、反射光学要素の位置に応じてレーザ光源と被測定物との光路長を変化させるように構成した。

Claim (excerpt)：

レーザ光源と、このレーザ光源の出力光の光路を光軸に対して直交する2次元方向に変化させる光路制御素子と、この光路制御素子の出力光を被測定物に導く測定光学系と、前記被測定物からの被測定光を検出する光検出器を備えた共焦点レーザ顕微鏡において、前記測定光学系に、ビーム分岐要素と、反射光学要素と、この反射光学要素を光軸方向に沿って変位させるアクチュエータを設け、反射光学要素の位置に応じてレーザ光源と被測定物との光路長を変化させることを特徴とする共焦点レーザ顕微鏡。