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J-GLOBAL ID：200903061317703265

気体動圧軸受

Inventor： 利光 学 ,  布施 裕子
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 熊谷 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992350411
Publication number (International publication number)：1994173944
Application date： Dec. 03, 1992
Publication date： Jun. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 比較的高い面圧下においても摩擦係数の変化が少なく、モータの動作時の姿勢の制約を受けることなく頻繁な起動、停止の繰り返しを行っても、起動時の軸受摩擦トルクを小さく維持でき、軸受からの発塵もなくクリーンな環境での使用が可能な気体動圧軸受を提供すること。【構成】 ラジアル軸受部材1の両端に第1及び第2のスラスト板を直接当接させ一体化した主軸受部材と、内周面4a及び両端面4b,4cがラジアル軸受部材1の外周面1a及び第1及び第2のスラスト板の対向面2a,3aに対向して協動するラジアルスリーブ4とにより構成され、ラジアルスリーブ4の両端面4b,4c又は、第1及び第2のスラスト板の対向面2a,3aのいずれか一方に動圧発生用溝が設けられ、気体動圧軸受の相対向する摺動面の少なくとも一方の摺動面に均一な水素化アモルファスカーボン(a-C:H)膜を設けた。

Claim (excerpt)：

円筒状のラジアル軸受部材の両端に第1及び第2のスラスト板を直接当接させ一体化した主軸受部材と、円筒状でその内周面及び両端面が前記主軸受部材のラジアル軸受部材の外周面及び第1及び第2のスラスト板の対向面に対向して協動するラジアルスリーブとによりラジアル気体動圧軸受及びスラスト気体動圧軸受を構成し、前記スラスト気体動圧軸受を構成するラジアルスリーブの両端面又は、該両端面に対向する前記主軸受部材の第1及び第2のスラスト板の面のいずれか一方に動圧発生用溝が設けられ、前記ラジアル気体動圧軸受部及びスラスト気体動圧軸受部の少なくとも一方の気体動圧軸受の相対向する摺動面の少なくとも一方の摺動面に均一な水素化アモルファスカーボン(a-C:H)膜を設けたことを特徴とする気体動圧軸受。

IPC (3)：

F16C 17/10 ,  F16C 33/16 ,  F16C 33/24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-157513
  
• 特開平3-223190
  
• 特開昭61-124573